三氟化氮
产品类别:
英文名称:
Nitrogen trifluorideCAS NO:
7783-54-2分 子 量:
71.0019EC NO:
232-007-1规 格:
99.99%、99.999%包 装:
25KG结 构 式:
本公司经营三氟化氮99.99%、99.999%两种规格的的食品。详情请咨询：400-050-9975
| 品名: | 三氟化氮 |
|---|---|
| 用途: | 三氟化氮主要用途是用作氟化氢－氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分（约25%）可以以激光辐射释放出，所 HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子 蚀刻气体，对硅和 氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与 氧气的 混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。 |
| 别名 | 氟化氮; |